Красников Геннадий Яковлевич: Конструктивно-технологические особенности субмикронных МОП-транзисторов
Скачать книгу (размер 4 073 Kb , формат fb2, страниц 800) Аннотация: В книге рассмотрены особенности работы субмикронных МОП-транзисторов, описаны направления развития и ограничения применения методов масштабирования транзисторов, представлены требования к подзатворным диэлектрикам и технологии их формирования, различные конструкции сток-истоковых областей МОПТ и технологические процессы создания мелкозалегающих легированных слоев. Рассмотрены проблемы влияния…